事業・制度

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データ種別地方自治体の支援開発事業・制度
事業・制度名称マイクロデバイス開発支援センター
実施機関地方独立行政法人 大阪府立産業技術総合研究所
事業概要大阪府立産業技術総合研究所内にマイクロデバイス開発支援センターを開設し、研究開発型企業のマイクロデバイス製品の設計から評価に至る開発に必要な機器の開放や人材育成、技術相談等を通じて支援する。
事業開始年平成13年度
支援対象者単独(研究者)、単独(企業)、その他
制限なし(ただし、「機器使用」「依頼加工・設計、依頼試験」などの支援事業を利用する場合には、一定の使用料・手数料が必要。「受託研究」は必要な費用を算定する)
事業詳細MEMS技術や高機能薄膜作製技術を用いた高機能なセンサや集積化マイクロデバイスの研究・開発に関する技術支援を行っている。また、MEMS技術や信号処理技術などの普及を図るため、講習会やセミナーなどを企画・後援している。

【主な設備】
 ・クリーンルーム
 ・高精度マスクアライナー
 ・両面マスクアライナー
 ・フォトマスク作製(レーザ描画)装置
 ・半導体熱処理炉
 ・LPCVD装置(SiN膜,ポリシリコン膜)
 ・リアクティブ・イオン・エッチング装置
 ・高速シリコンディープエッチング装置
 ・NLDエッチング装置
 ・半導体デバイス作製用スパッタ装置
 ・電極用スパッタ装置
 ・強誘電体評価装置
 ・分光エリプソメーター
 ・その他の試作・計測用装置

【利用方法】
 (1)機器使用:利用者が各種装置を自分で操作し、実験・試作を行う。
 (2)依頼加工:ウェハなどの試料を預かり、研究所職員が成膜などの加工を行う。
 (3)受託研究:研究テーマ・内容について相談後、契約を行い、研究所職員とともに研究を行う。
大阪府立産業技術総合研究所 利用案内  http://tri-osaka.jp/c/riyou_annai/about.html
募集期間(開始~終了)随時
対象分野ナノテクノロジー
ホームページURL

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